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ESD危害是靜電源產(chǎn)生的電能作用到或過于接近ESDS（靜電敏感元器件）元件（或整機設(shè)備）所導(dǎo)致的結(jié)果。使電子器件性能退化或功能失效。
1.靜電的三種危害方式
1.1 吸附塵埃
靜電吸附塵埃對微電子生產(chǎn)業(yè)影響很大，在現(xiàn)代大規(guī)模集成電路(LSI)生產(chǎn)中，芯片的線寬已達到0.1μm，如果其產(chǎn)生靜電則對幾～幾十微米的塵埃吸附作用明顯。