晶體管廠恒溫車間空氣調(diào)節(jié)工程屬于光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。
本文詳細(xì)介紹了XX某晶體管恒溫恒濕無塵室車間的設(shè)計過程，車間內(nèi)包括精磨間，精鏜間，光曲磨間，電位差計校驗修理室等。設(shè)計區(qū)按晶體管生產(chǎn)工藝需求設(shè)計ISO-7級潔凈空調(diào)系統(tǒng)，凈化空調(diào)系統(tǒng)嚴(yán)格遵守《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB 50472-2008）和《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2001）的相關(guān)規(guī)定采用初、中、高三級過濾全空氣空調(diào)系統(tǒng)，氣流組織形式采用上部側(cè)送、中上部回風(fēng)方式。
本設(shè)計本著規(guī)范、合理、節(jié)能的三個設(shè)計原則在首先保證所設(shè)計的空調(diào)系統(tǒng)能夠達(dá)到晶體管廠恒溫車間生產(chǎn)工藝對室內(nèi)空氣環(huán)境的要求，同時注重節(jié)能減排，靈活運(yùn)用規(guī)范的相關(guān)規(guī)定，使整個系統(tǒng)達(dá)到布局合理、降低運(yùn)行功耗、節(jié)約施工材料的目的。
